Rapid Thermal Processing

Views Updated: Dec 15, 2025

Key Facts

Abbreviation
RTP
Pronunciation
/ˈræpɪd ˈθərməl ˈprɑsɛsɪŋ/
Category
Academic & Science
Related Field
Electronics

Examples in Context

  1. 本文 研究 了 快速 热 处理 工艺 （ RTP ） 在 模拟 的 CMOS 热 处理 工艺 中 对 直 拉 硅 单晶 中 氧 沉淀 和 洁净 区 （ DZ ） 的 影响 。
  2. 快速 热 处理 对 氮化 硅 减 反射 性能 的 影响
  3. 研究 了 过渡 族 金属 镍 在 快速 热 处理 作用 下 对 直 拉 单晶硅 中 洁净 区 形成 的 影响 。
  4. 快速 热 处理 工艺 下 金属 杂质 对 铸造 多晶硅 少 子 寿命 的 影响
  5. 采用 新近 研制 的 高 真空 / 快速 热 处理 / 化学 气 相 淀积 （ HV/RTP/CVD ） 系统 生长 了 应变 SiGe 材料 。

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